2019年5月7日,上方电子装备首台8.6代新型显示PVD装备,顺利完成发货。
上方自主设计并开发的8.6代Array PVD装备,最大玻璃基板尺寸为2250mm×2600mm,采用旋转阴极镀膜技术,可实现薄膜沉积厚度非均匀性<5%,靶材利用率>80%。装备已获得国内技术专利11项,具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点。该装备的研发,得到了国家发改委和工信部的装备国产化项目立项支持。
中国已成为全球显示装备的最大市场,加强磁控溅射PVD等关键工艺装备的国产化配套,是我国显示产业提升竞争力的关键。 上方8.6代PVD装备的交付,将进一步推动装备国产化的进程,有助于全方位提升我国新型显示产业竞争力!