用途：适用于CIGS薄膜电池的金属层电极制造
基材：玻璃
设备优势：
1.模块化设计，可根据客户需求进行配置
2.配置旋转磁控阴极，大幅提高设备稼动率；上下式阴极设计，同时完成硅片正反面的镀膜
3.配置在线式吊车，高效更换靶材，减少PM停机时间
4.完善的工艺气体软隔离设计，确保气隔离系数≥100:1，同时保证产线节拍
5.可靠的软件控制系统，配备MES功能可与工厂制造系统完美对接
6.机构简单可靠，确保设备稳定性与一致性
用途：适用于HIT薄膜电池的透明导电层制造
基材：硅片
设备优势：
1.模块化设计，可根据客户需求进行配置
2.配置旋转磁控阴极，大幅提高设备稼动率；上下式阴极设计，同时完成硅片正反面的镀膜
3.配置在线式吊车，高效更换靶材，减少PM停机时间
4.完善的工艺气体软隔离设计，确保气隔离系数≥100:1，同时保证产线节拍
5.可靠的软件控制系统，配备MES功能可与工厂制造系统完美对接
6.机构简单可靠，确保设备稳定性与一致性
