用途：
1、适用于大面积磁控镀膜设备配套件
2、平面阴极升级改造 设备
规格：
| 型号 | SF-125CRC-125L | SF-125RC-384L | SF-125RC-117L |
| 紧凑型内装端头 | 普通外装端头 | 特殊外装端头（磁棒带扫描） | |
| 描述 | 端头紧凑型真空内装设计，可最大化提高基板镀膜均匀区，广泛用于平面阴极改造、PVD设备配套件 | 端头普通真空外装设计，方便安装维护，最大化基板宽幅，广泛用于单腔体镀膜、卷绕镀设备配套件 | 端头真空外装设计，磁场独立马达控制扫描动作，专用于应对静态镀膜系统，广泛用于平板显示行业 |
设备优势：
1.适用于ITO、SI、Mo、AZO、i-ZnO、W、Al等各种靶材镀膜
2.靶材利用率≥75%
3.镀膜均匀性≤±5%
4.维护周期＞6个月
5.特殊的外形尺寸设计：适合各种工况的使用，紧凑型的可最大化镀膜均匀区
6.优化创新的磁场设计：靶表磁500-1000GS手动可调，均匀性≤±5%
7.独特的水路水冷设计：排水可完全排空
8.驱动系统集中在端头侧，另一端为支撑侧，便于安装维护
9.实时的故障保护系统
